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紫外臭氧清洗機（UVO），是一種簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。
紫外臭氧清洗機（UVOzone Cleaner, UVO），是一種簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）表面上的有機污染物。
CIF臭氧中和器（UVO-N）是紫外臭氧清洗機配套的臭氧去除設備。主要是通過納米級金屬氧化物催化劑分解臭氧，以及利用臭氧的不穩定性加速臭氧快速流動從而達到快速去除臭氧的目的。
紫外臭氧清洗機（UVOzone Cleaner, UVO），是一種簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）表面上的有機污染物。
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