CIF勻膠機(jī)

簡(jiǎn)要描述：CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速，旋涂均勻，操作簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

產(chǎn)品型號(hào)：SC1
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2025-04-28
訪(fǎng) 問(wèn) 量：5185

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CIF材料表面處理儀器

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CIF勻膠機(jī)

CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速，旋涂均勻，操作簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)

u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號(hào)反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長(zhǎng)，保證勻膠均勻。

u 5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置），可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，多100個(gè)階段。

u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

u 多重安全保護(hù)

電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證安全；

蓋子自鎖功能，防止飛片蓋傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。

u 一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂模式。

u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盤(pán)，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。

u 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

勻膠機(jī)使用注意事項(xiàng)：

（1）在旋轉(zhuǎn)涂膠中，轉(zhuǎn)速是最重要的因素之一，通常決定了最終的膠膜厚度。較小的速度變化就能導(dǎo)致膠膜厚度較大的變化。旋轉(zhuǎn)速度過(guò)高或過(guò)低都會(huì)使基片涂膠失敗。因此提供勻膠轉(zhuǎn)速用的電機(jī)控制精度要求非常高。

（2）加速度對(duì)涂膠的均勻性有著重要的影響。在涂膠環(huán)節(jié)的一部分，膠液開(kāi)始變干，準(zhǔn)確地控制加速度十分重要，膠液中50%的溶劑在加速過(guò)程中汽化蒸發(fā)。旋轉(zhuǎn)過(guò)程提供了一個(gè)離心力（向外）給膠液，加速度提供給膠液扭曲力，此力使膠液均勻通過(guò)和覆蓋基本表面。最終形成的膠膜均勻性與適當(dāng)?shù)募铀俣让芮邢嚓P(guān)。

（3）涂膠工藝受到腔體環(huán)境（排風(fēng)、氣流等）的影響。在涂膠過(guò)程中膠液的揮發(fā)烘干速度取決于液體本身的自然屬性，也受到涂膠過(guò)程中晶圓片周?chē)諝馇闆r的影響。涂膠過(guò)程中特別重要的一點(diǎn)是涂膠腔體內(nèi)氣體的流動(dòng)和與之相關(guān)的亂流要減到最小。通過(guò)腔體的排風(fēng)系統(tǒng)可以減少不希望的亂流，這樣可以使液體凝固速度減緩，同時(shí)使對(duì)外界溫濕度的敏感性減少。

（4）膠液的準(zhǔn)確供應(yīng)對(duì)提高成品率及降低成本有很重要的意義。膠液不足造成無(wú)法覆蓋全片，太多則對(duì)膠膜質(zhì)量有影響且造成浪費(fèi)。

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